芯片化学处理 →
取晶
取晶:以化学腐蚀的方法将晶粒(die)从封装中取出,以利下一步拍照评估,层次去除或其他分析的进行。 拍照评估:取晶后将晶粒置于显微镜下,初步观察测量工艺制程(线宽,Metal层数和Poly层数),拍出芯片上层概貌 图,给出建议拍照倍率,整合上述内容生成评估报告。如需更为精确的评估报告,需在取晶后进一步去层至poly层,方 可给出。
芯片概貌图例(注:下图与真实工程图相比,已等比缩小至原概貌图10~20%左右)
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